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- Titel:
Tuning the feature size of nanoimprinting stamps: A method to enhance the flexibility of nanoimprint lithography
- Dokumenttyp:
- Zeitschriftenaufsatz
- Autor(en):
- Golibrzuch, Matthias; Maier, Thomas L.; Feil, Moritz J.; Krischer, Katharina; Becherer, Markus
- Zeitschriftentitel:
- Journal of Applied Physics
- Jahr:
- 2022
- Band / Volume:
- 131
- Heft / Issue:
- 12
- Volltext / DOI:
- doi:10.1063/5.0079282
- Verlag / Institution:
- AIP Publishing
- E-ISSN:
- 0021-89791089-7550
- Publikationsdatum:
- 24.03.2022
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