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Dokumenttyp:
Zeitschriftenaufsatz
Autor(en):
Golibrzuch, Matthias; Maier, Thomas L.; Feil, Moritz J.; Krischer, Katharina; Becherer, Markus
Titel:
Tuning the feature size of nanoimprinting stamps: A method to enhance the flexibility of nanoimprint lithography
Zeitschriftentitel:
Journal of Applied Physics
Jahr:
2022
Band / Volume:
131
Heft / Issue:
12
Volltext / DOI:
doi:10.1063/5.0079282
Verlag / Institution:
AIP Publishing
E-ISSN:
0021-89791089-7550
Publikationsdatum:
24.03.2022
BibTeX
Vorkommen:
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