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Titel:

Fabrication of diffraction gratings for hard X-ray phase contrast imaging

Autor(en):
David, C.; Bruder, J.; Rohbeck, T.; Grünzweig, C.; Kottler, C.; Diaz, A.; Bunk, O.; Pfeiffer, F.
Zeitschriftentitel:
Microelectronic Engineering
Jahr:
2007
Band / Volume:
84
Heft / Issue:
5-8
Seitenangaben Beitrag:
1172-1177
Volltext / DOI:
doi:10.1016/j.mee.2007.01.151
Verlag / Institution:
Elsevier BV
Publikationsdatum:
01.05.2007
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