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- Titel:
Fabrication of diffraction gratings for hard X-ray phase contrast imaging
- Autor(en):
- David, C.; Bruder, J.; Rohbeck, T.; Grünzweig, C.; Kottler, C.; Diaz, A.; Bunk, O.; Pfeiffer, F.
- Zeitschriftentitel:
- Microelectronic Engineering
- Jahr:
- 2007
- Band / Volume:
- 84
- Heft / Issue:
- 5-8
- Seitenangaben Beitrag:
- 1172-1177
- Volltext / DOI:
- doi:10.1016/j.mee.2007.01.151
- Verlag / Institution:
- Elsevier BV
- Publikationsdatum:
- 01.05.2007
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