- Titel:
Anodically Bonded Photoacoustic Transducer: An Approach towards Wafer-Level Optical Gas Sensors
- Dokumenttyp:
- Zeitschriftenaufsatz
- Autor(en):
- Gassner, Simon; Schaller, Rainer; Eberl, Matthias; von Koblinski, Carsten; Essing, Simon; Ghaderi, Mohammadamir; Schmitt, Katrin; Wöllenstein, Jürgen
- Zeitschriftentitel:
- Sensors
- Jahr:
- 2022
- Band / Volume:
- 22
- Heft / Issue:
- 2
- Seitenangaben Beitrag:
- 685
- Volltext / DOI:
- doi:10.3390/s22020685
- Verlag / Institution:
- MDPI AG
- E-ISSN:
- 1424-8220
- Publikationsdatum:
- 17.01.2022
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