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Dokumenttyp:
Zeitschriftenaufsatz
Autor(en):
Henning, Alex; Bartl, Johannes D.; Zeidler, Andreas; Qian, Simon; Bienek, Oliver; Jiang, Chang‐Ming; Paulus, Claudia; Rieger, Bernhard; Stutzmann, Martin; Sharp, Ian D.
Titel:
Aluminum Oxide at the Monolayer Limit via Oxidant‐Free Plasma‐Assisted Atomic Layer Deposition on GaN
Zeitschriftentitel:
Advanced Functional Materials
Jahr:
2021
Seitenangaben Beitrag:
2101441
Volltext / DOI:
doi:10.1002/adfm.202101441
Verlag / Institution:
Wiley
E-ISSN:
1616-301X1616-3028
Publikationsdatum:
12.06.2021
BibTeX
Vorkommen:
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