Benutzer: Gast  Login
Titel:

Simulation and Measurement of Pressure Dependent Q-factors in NEMS Resonators

Dokumenttyp:
Konferenzbeitrag
Autor(en):
Manz, J.; Schrag, G.; Wachutka, G.
Herausgeber:
IEEE
Kongress- / Buchtitel:
15th International Conference on Thermal, Mechanical and Multi-Physics Simulation and Experiments in Microelectronics and Microsystems
Kongress / Zusatzinformationen:
EuroSimE 2014
Datum der Konferenz:
April, 7-9
Jahr:
2014
E-ISBN:
978-1-4799-4790-4
Reviewed:
ja
Sprache:
en
 BibTeX