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Titel:

50 nm continuously tunable MEMS VCSEL devices with surface micromachining operating at 1.95 µm emission wavelength

Dokumenttyp:
Zeitschriftenaufsatz
Autor(en):
T. Gruendl; K. Zogal; P. Debernardi; C. Gierl; C. Grasse; K. Geiger; R. Meyer; G. Boehm; M.-C. Amann; P. Meissner and F. Kueppers
Zeitschriftentitel:
Semiconductor science and technology
Jahr:
2013
Band / Volume:
28
Heft / Issue:
1
Seitenangaben Beitrag:
012001
Reviewed:
ja
Volltext / DOI:
doi:10.1088/0268-1242/28/1/012001
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