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- Titel:
"Non-linear model for the simulation of viscously damped RF-MEMS switches at varying ambient pressure conditions"
- Dokumenttyp:
- Konferenzbeitrag
- Autor(en):
- Niessner, M. ; Schrag, G. ; Wachutka, G.; Iannacci, J. ; Reutter, T. ; Mulatz, H.
- Seitenangaben Beitrag:
- pp. 618-621
- Kongress- / Buchtitel:
- Proceedings of EUROSENSORS XXIII
- Kongress / Zusatzinformationen:
- September 6-9, 2009, Lausanne, Schweiz
- Jahr:
- 2009
- Sprache:
- en
- Format:
- Text
BibTeX