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Titel:

"Non-linear model for the simulation of viscously damped RF-MEMS switches at varying ambient pressure conditions"

Dokumenttyp:
Konferenzbeitrag
Autor(en):
Niessner, M. ; Schrag, G. ; Wachutka, G.; Iannacci, J. ; Reutter, T. ; Mulatz, H.
Seitenangaben Beitrag:
pp. 618-621
Kongress- / Buchtitel:
Proceedings of EUROSENSORS XXIII
Kongress / Zusatzinformationen:
September 6-9, 2009, Lausanne, Schweiz
Jahr:
2009
Sprache:
en
Format:
Text
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