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Titel:
Fabrication of large-grained thin polycrystalline silicon films on foreign substrates by titanium-assisted metal-induced layer exchange
Autor(en):
Antesberger, T.; Wassner, T. A.; Kashani, M.; Scholz, M.; Lechner, R.; Matich, S.; Stutzmann, M.
Zeitschriftentitel:
J. Appl. Phys.
Jahr:
2012
Band / Volume:
112
Heft / Issue:
12
Seitenangaben Beitrag:
123509
Volltext / DOI:
doi:10.1063/1.4768542
Verlag / Institution:
American Institute of Physics (AIP)
Publikationsdatum:
01.01.2012
BibTeX
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