Porous silicon formation during Au-catalyzed etching

Algasinger, Michael; Bernt, Maximilian; Koynov, Svetoslav; Stutzmann, Martin

doi:10.1063/1.4873892

Titel:: Porous silicon formation during Au-catalyzed etching
Autor(en):: Algasinger, Michael; Bernt, Maximilian; Koynov, Svetoslav; Stutzmann, Martin
Zeitschriftentitel:: J. Appl. Phys.
Jahr:: 2014
Band / Volume:: 115
Heft / Issue:: 16
Seitenangaben Beitrag:: 164308
Volltext / DOI:: doi:10.1063/1.4873892
Verlag / Institution:: American Institute of Physics (AIP)
Publikationsdatum:: 28.04.2014
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