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- Document type:
- Diplomarbeit
- Author(s):
- Vogel, M.
- Title:
- Aufbau einer ionenstranlunterstützten RF Magnetron Sputter Anlage und Herstellung sowie Charakterisierung von dünnen Schichten im B-C-N System
- Year:
- 2007
- Month:
- July
- Notes:
- Advisor: H. Bolt
- University:
- Technische Universität München
- Faculty:
- Fakultät für Maschinenwesen
- TUM Institution:
- Lehrstuhl für Werkstoffkunde und Werkstoffmechanik
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