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- Original title:
- Charakterisierung und Optimierung piezoelektrischer MEMS-Mikrophone mittels physikalischer Modellierung und Simulation
- Translated title:
- Characterization and Optimization of Piezoelectric MEMS-Microphones Applying Physical Modeling and Simulation
- Author:
- Reutter, Teresa
- Year:
- 2014
- Document type:
- Dissertation
- Faculty/School:
- Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
- Advisor:
- Wachutka, Gerhard (Prof. Dr.)
- Referee:
- Wachutka, Gerhard (Prof. Dr.); Seidl, Helmut (Prof. Dr.)
- Language:
- de
- Subject group:
- ELT Elektrotechnik
- Keywords:
- Piezo-MEMS-Mikrophon, AlN, FEM, ANOVA
- Translated keywords:
- piezo, MEMS, microphone, AlN, FEM, ANOVA
- Abstract:
- Es wird ein neuartiges Design für ein Piezo-MEMS-Mikrophon entwickelt, dessen Membran herstellungsbedingte intrinsische Spannungen kompensiert. Die Optimierung stützt sich dabei auf ein kalibriertes elektromechanisches FEM-Modell mit einem reduzierten Satz an signifikanten Parametern, die mittels Varianzanalyse identifiziert werden. Schließlich wird ein Kirchhoffsches Netzwerkmodell für die Gehäusedämpfung erstellt, womit sich eine Mikrophonsensitivität von -40,6 dBV prognostizieren lässt.
- Translated abstract:
- A novel design approach for a piezoelectric MEMS-microphone is developed, where the multilayered membrane is able to compensate intrinsic stress caused by the fabrication process. The optimization is based on a calibrated electro-mechanical FEM model that is parameterized by significant variables as determined by a statistical analysis of variance. Eventually a Kirchhoffian network model of the package-induced damping is added, leading to the prediction of an amplified microphone sensitivity of... »
- Series:
- Selected topics of electronics and micromechatronics
- Series volume:
- 47
- ISBN:
- 978-3-8440-3490-5
- WWW:
- https://mediatum.ub.tum.de/?id=1126931
- Date of submission:
- 09.01.2013
- Oral examination:
- 21.11.2014
- File size:
- 2861438 bytes
- Pages:
- 143
- Urn (citeable URL):
- https://nbn-resolving.de/urn/resolver.pl?urn:nbn:de:bvb:91-diss-20141121-1126931-0-3
- Last change:
- 21.05.2015
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