Login
- Originaltitel:
- Charakterisierung und Optimierung piezoelektrischer MEMS-Mikrophone mittels physikalischer Modellierung und Simulation
- Übersetzter Titel:
- Characterization and Optimization of Piezoelectric MEMS-Microphones Applying Physical Modeling and Simulation
- Autor:
- Reutter, Teresa
- Jahr:
- 2014
- Dokumenttyp:
- Dissertation
- Fakultät/School:
- Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
- Betreuer:
- Wachutka, Gerhard (Prof. Dr.)
- Gutachter:
- Wachutka, Gerhard (Prof. Dr.); Seidl, Helmut (Prof. Dr.)
- Sprache:
- de
- Fachgebiet:
- ELT Elektrotechnik
- Stichworte:
- Piezo-MEMS-Mikrophon, AlN, FEM, ANOVA
- Übersetzte Stichworte:
- piezo, MEMS, microphone, AlN, FEM, ANOVA
- Kurzfassung:
- Es wird ein neuartiges Design für ein Piezo-MEMS-Mikrophon entwickelt, dessen Membran herstellungsbedingte intrinsische Spannungen kompensiert. Die Optimierung stützt sich dabei auf ein kalibriertes elektromechanisches FEM-Modell mit einem reduzierten Satz an signifikanten Parametern, die mittels Varianzanalyse identifiziert werden. Schließlich wird ein Kirchhoffsches Netzwerkmodell für die Gehäusedämpfung erstellt, womit sich eine Mikrophonsensitivität von -40,6 dBV prognostizieren lässt.
- Übersetzte Kurzfassung:
- A novel design approach for a piezoelectric MEMS-microphone is developed, where the multilayered membrane is able to compensate intrinsic stress caused by the fabrication process. The optimization is based on a calibrated electro-mechanical FEM model that is parameterized by significant variables as determined by a statistical analysis of variance. Eventually a Kirchhoffian network model of the package-induced damping is added, leading to the prediction of an amplified microphone sensitivity of... »
- Serie / Reihe:
- Selected topics of electronics and micromechatronics
- Bandnummer:
- 47
- ISBN:
- 978-3-8440-3490-5
- WWW:
- https://mediatum.ub.tum.de/?id=1126931
- Eingereicht am:
- 09.01.2013
- Mündliche Prüfung:
- 21.11.2014
- Dateigröße:
- 2861438 bytes
- Seiten:
- 143
- Urn (Zitierfähige URL):
- https://nbn-resolving.de/urn/resolver.pl?urn:nbn:de:bvb:91-diss-20141121-1126931-0-3
- Letzte Änderung:
- 21.05.2015
BibTeX