Accurate modeling of damping effects in high-end MEMS devices is a major challenge due to low feature sizes and complex device geometries. By applying a finite network approach with specially derived compact models, we are able to simulate structures with varying perforation patterns and account for the impact of the transition regions between differently perforated areas. Simulations and measurements of exemplary test structures with different perforation sizes and patterns prove the feasibility of our approach, which perspectively improves the accuracy of damping estimation beyond state of the art.     «

Accurate modeling of damping effects in high-end MEMS devices is a major challenge due to low feature sizes and complex device geometries. By applying a finite network approach with specially derived compact models, we are able to simulate structures with varying perforation patterns and account for the impact of the transition regions between differently perforated areas. Simulations and measurements of exemplary test structures with different perforation sizes and patterns prove the feasibilit...     »

Die korrekte Modellierung von Dämpfungseffekten in MEMS Bauteilen stellt aufgrund ihrer geringen Abmessungen und der gleichzeitig hohen Komplexität der Strukturen eine große Herausforderung dar. Durch die Kombination eines finiten Netzansatzes mit eigens abgeleiteten Kompaktmodellen sind wir in der Lage unregelmäßig perforierte Strukturen zu si-mulieren und den Fluidfluss an der Schnittstelle zwischen zwei unterschiedlich stark perforierten Bereichen korrekt nach-zubilden. Validiert wird der Ansatz durch die Vermessung speziell gefertigter Teststrukturen.     «

Die korrekte Modellierung von Dämpfungseffekten in MEMS Bauteilen stellt aufgrund ihrer geringen Abmessungen und der gleichzeitig hohen Komplexität der Strukturen eine große Herausforderung dar. Durch die Kombination eines finiten Netzansatzes mit eigens abgeleiteten Kompaktmodellen sind wir in der Lage unregelmäßig perforierte Strukturen zu si-mulieren und den Fluidfluss an der Schnittstelle zwischen zwei unterschiedlich stark perforierten Bereichen korrekt nach-zubilden. Validiert wird der Ans...     »