User: Guest  Login

Title:

C3.2 - Piezoelektrische MEMS-Mikrofone mit Regelung durch Kraftrückkopplung

Document type:
Konferenzbeitrag
Author(s):
Friebe, T.; Schrag, G.; Bosetti, G.; Bretthauer, C.
Pages contribution:
236-240
Abstract:
Wir präsentieren das Design und eine erste experimentelle Validierung eines durch Kraftrückkoppelung geregelten piezoelektrischen MEMS-Mikrofons mit dem Ziel, die Sensorlinearität zu erhöhen, eine flache Frequenzantwort zu ermöglichen und Systemresonanzen zu dämpfen. Das MEMS-Konzept beruht auf einer allseitig eingespannten, gewellten Aluminiumnitridmembran. Das Design und die Auswertung der wichtigsten Sensorparameter wurden mithilfe von gekoppelten Finite-Elemente- Simulationen durchgeführt un...     »
Keywords:
MEMS; Mikrofon; Kraftrückkoppelung; Frequenz; Frequenzantwort; Aluminiumnitridmembran; Aluminium; Design; Sensor; Vibrometer; Finite; Messungen; MEMS-Mikrofon; Microphone; Mikrophon; Friebe; Schrag; Bosetti; Bretthauer
Dewey Decimal Classification:
620 Ingenieurwissenschaften
Book / Congress title:
Vorträge
Congress (additional information):
22. GMA/ITG-Fachtagung Sensoren und Messsysteme 2024
Date of congress:
11.-12.06.2024
Publisher:
AMA Service GmbH, Von-Münchhausen-Str. 49, 31515 Wunstorf
Date of publication:
01.01.2024
Year:
2024
Quarter:
1. Quartal
Year / month:
2024-01
Pages:
236-240
Print-ISBN:
978-3-910600-01-0
Language:
de
Fulltext / DOI:
doi:10.5162/sensoren2024/c3.2
WWW:
https://www.ama-science.org/proceedings/details/4945
TUM Institution:
Electrical Engineering; Professorship of Microsensors and Actuators
Ingested:
08.10.2024
Last change:
08.10.2024
 BibTeX