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- Titel:
Effect of Helium Ion Implantation on 3C-SiC Nanomechanical String Resonators
- Dokumenttyp:
- Zeitschriftenaufsatz
- Autor(en):
- Bredol, Philipp; David, Felix; Jagtap, Nagesh S.; Klaß, Yannick S.; Astakhov, Georgy V.; Erbe, Artur; Weig, Eva M.
- Jahr:
- 2024
- Volltext / DOI:
- doi:10.48550/ARXIV.2405.02035
- Verlag / Institution:
- arXiv
- Publikationsdatum:
- 01.01.2024
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