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- Title:
50 nm continuously tunable MEMS VCSEL devices with surface micromachining operating at 1.95 µm emission wavelength
- Document type:
- Zeitschriftenaufsatz
- Author(s):
- T. Gruendl; K. Zogal; P. Debernardi; C. Gierl; C. Grasse; K. Geiger; R. Meyer; G. Boehm; M.-C. Amann; P. Meissner and F. Kueppers
- Journal title:
- Semiconductor science and technology
- Year:
- 2013
- Journal volume:
- 28
- Journal issue:
- 1
- Pages contribution:
- 012001
- Reviewed:
- ja
- Fulltext / DOI:
- doi:10.1088/0268-1242/28/1/012001
BibTeX
Occurrences:
- mediaTUM GesamtbestandEinrichtungenForschungszentrenZentralinstitut für Physikalische Grundlagen d. Halbleiterelektronik - Walter Schottky Institut (WSI)Halbleitertechnologie (Prof. Belkin)Publications2013
- mediaTUM GesamtbestandEinrichtungenSchools TUM School of Computation, Information and TechnologyDepartmentsElectrical EngineeringHalbleitertechnologie (Prof. Belkin)Publications2013
- mediaTUM GesamtbestandHochschulbibliographie2013FakultätenElektrotechnik und InformationstechnikLehrstuhl für Halbleitertechnologie (Prof. Amann)