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Dokumenttyp:
Konferenzbeitrag 
Art des Konferenzbeitrags:
Vortrag / Präsentation 
Autor(en):
Zöpfl, T.; Wittman, F.; Schrag, G.; Wachutka, G., 
Titel:
High-Fidelity 3D FEM Simulation Model for Stress Reduction in MEMS Microphones 
Seitenangaben Beitrag:
pp. 68-71 
Kongress- / Buchtitel:
EUROSENSORS XXII 
Kongress / Zusatzinformationen:
07.09.208 - 10.09.2008, Dresden 
Jahr:
2008 
Sprache:
de 
Format:
Text