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Titel:

Optical mapping of surface roughness by implementation of a spatial light modulator

Dokumenttyp:
Konferenzbeitrag
Art des Konferenzbeitrags:
Textbeitrag / Aufsatz
Autor(en):
Aulbach, L.; Pöller, F.; Lu, M.; Wang, S.; Koch, A.W.
Kongress- / Buchtitel:
Proc. SPIE Volume 10373, Applied Optical Metrology II
Ausrichter der Konferenz:
SPIE
Publikationsdatum:
23.08.2017
Jahr:
2017
Quartal:
3. Quartal
Jahr / Monat:
2017-08
Monat:
Aug
Reviewed:
ja
Sprache:
en
Erscheinungsform:
Print
Volltext / DOI:
doi:10.1117/12.2270548
WWW:
https://www.spiedigitallibrary.org/conference-proceedings-of-spie/10373/103730E/Optical-mapping-of-surface-roughness-by-implementation-of-a-spatial/10.1117/12.2270548.short?SSO=1
Semester:
SS 17
TUM Einrichtung:
Lehrstuhl für Messsystem- und Sensortechnik
Format:
Text
Eingabe:
02.01.2018
Letzte Änderung:
08.02.2018
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