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- Dokumenttyp:
- Zeitschriftenaufsatz
- Autor(en):
- Werth, N.; Koch, A.W.
- Titel:
- Micro-Mirror-Arrays (MMA) zur Auflösungserhöhung von Oberflächenformvermessungen
- Zeitschriftentitel:
- tm - Technisches Messen
- Jahr:
- 2009
- Heft / Issue:
- 76(4)
- Seitenangaben Beitrag:
- S. 182-188
- Sprache:
- en
- Format:
- Text
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