Einleitung

Die Nanoelektronik ist gekennzeichnet einerseits durch die Entwicklung der elektronischen Bauelemente auf Basis der vorherrschenden Siliziumtechnologie in Richtung auf kleinere Strukturgrößen, höhere Integrationsdichten und erweiterte Funktionalitäten, andererseits durch die Entwicklung neuer Materialien, Bauelemente und Systemarchitekturen. In der Nanoelektronik werden Strukturgrößen von unterhalb 100 Nanometern bis hinab zu molekularen und atomaren Dimensionen erreicht oder für die Zukunft angestrebt.     «

Die Nanoelektronik ist gekennzeichnet einerseits durch die Entwicklung der elektronischen Bauelemente auf Basis der vorherrschenden Siliziumtechnologie in Richtung auf kleinere Strukturgrößen, höhere Integrationsdichten und erweiterte Funktionalitäten, andererseits durch die Entwicklung neuer Materialien, Bauelemente und Systemarchitekturen. In der Nanoelektronik werden Strukturgrößen von unterhalb 100 Nanometern bis hinab zu molekularen und atomaren Dimensionen erreicht oder für die Zukunft ang...     »