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- Title:
Micro-Mirror-Arrays (MMA) zur Auflösungserhöhung von Oberflächenformvermessungen
- Document type:
- Zeitschriftenaufsatz
- Author(s):
- Werth, N.; Koch, A.W.
- Journal title:
- tm - Technisches Messen
- Year:
- 2009
- Journal issue:
- 76(4)
- Pages contribution:
- S. 182-188
- Language:
- en
- Format:
- Text
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