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Titel:

Inline hyperspectral thickness determination of thin films using neural networks

Dokumenttyp:
Konferenzbeitrag
Art des Konferenzbeitrags:
Textbeitrag / Aufsatz
Autor(en):
Tremmel, A.J.; Weiss, R.; Schardt, M.; Koch, A.W.
Kongress- / Buchtitel:
Proc. SPIE 10213, Hyperspectral Imaging Sensors: Innovative Applications and Sensor Standards 2017, 102130G
Publikationsdatum:
28.04.2017
Jahr:
2017
Quartal:
2. Quartal
Jahr / Monat:
2017-04
Monat:
Apr
Reviewed:
ja
Sprache:
en
Erscheinungsform:
Print
Volltext / DOI:
doi:10.1117/12.2262070
WWW:
https://www.spiedigitallibrary.org/conference-proceedings-of-spie/10213/1/Inline-hyperspectral-thickness-determination-of-thin-films-using-neural-networks/10.1117/12.2262070.short?SSO=1
Semester:
SS 17
TUM Einrichtung:
Lehrstuhl für Messsystem- und Sensortechnik
Format:
Text
Eingabe:
04.01.2018
Letzte Änderung:
08.02.2018
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