Benutzer: Gast  Login
Dokumenttyp:
Konferenzbeitrag 
Autor(en):
Zöpfl, T. ; Klare, S. ; Wachutka, G. ; Schrag, G. 
Titel:
"Characterisation of the intrinsic stress in micromachined parylene membranes" 
Seitenangaben Beitrag:
pp. 73621M-1-11 
Kongress- / Buchtitel:
Proceedings of SPIE: Smart Sensors, Actuators and MEMS IV 
Kongress / Zusatzinformationen:
SPIE 2009, May 4-6 , Dresden, Germany 
Band / Teilband / Volume:
Vol. 7362 
Jahr:
2009 
Sprache:
en 
Format:
Text