Login
- Originaltitel:
- Modelling and Design of a Monolithic Complementary Metal-Oxide-Semiconductor Compatible Front-End-of Line Fin Field-Effect Transistor Micro-Electro-Mechanical-System
- Übersetzter Titel:
- Modellierung und Design eines monolithischen Komplementär-Metalloxid-Halbleiter-kompatiblen mikroelektromechanischen Systems in Front-End-of-Line-Fin-Feldeffekttransistortechnologie
- Autor:
- Hudeczek, Richard
- Jahr:
- 2023
- Dokumenttyp:
- Dissertation
- Fakultät/School:
- TUM School of Computation, Information and Technology
- Betreuer:
- Eibert, Thomas F. (Prof. Dr.)
- Gutachter:
- Eibert, Thomas F. (Prof. Dr.); Hagelauer, Amelie (Prof. Dr.)
- Sprache:
- en
- Fachgebiet:
- ELT Elektrotechnik
- TU-Systematik:
- ELT 710
- Kurzfassung:
- Finite-element-method simulations and high-frequency silicon wafer characterisations of a monolithic resonant fin field-effect transistor are carried out to assess the viability of a commercial fabrication and its usage in integrated circuits. Literature reports suggest excellent figures of merit for this type of resonator, however, both the theoretical and experimental approaches are unable to confirm the functionality of the component.
- Übersetzte Kurzfassung:
- Simulationen basierend auf der Finite-Elemente-Methode und Siliziumwafer-Messungen eines monolithischen resonanten Fin-Feldeffekttransistors werden durchgeführt, um die Realisierbarkeit einer kommerziellen Herstellung und seiner Verwendung in integrierten Schaltungen zu bewerten. Literaturberichte deuten auf hervorragende Leistungsindikatoren für diesen Resonatortyp hin, jedoch können sowohl die theoretischen als auch die experimentellen Ansätze die Funktionalität des Bauteils nicht bestätigen.
- WWW:
- https://mediatum.ub.tum.de/?id=1700660
- Eingereicht am:
- 15.03.2023
- Mündliche Prüfung:
- 27.10.2023
- Dateigröße:
- 74601886 bytes
- Seiten:
- 203
- Urn (Zitierfähige URL):
- https://nbn-resolving.de/urn/resolver.pl?urn:nbn:de:bvb:91-diss-20231027-1700660-1-9
- Letzte Änderung:
- 04.12.2023
BibTeX
Vorkommen:
- mediaTUM GesamtbestandHochschulbibliographie2023Schools und FakultätenTUM School of Computation, Information and TechnologyHochfrequenztechnik (Prof. Eibert)
- mediaTUM GesamtbestandElektronische PrüfungsarbeitenSchoolTUM School of Computation, Information and Technology
- mediaTUM GesamtbestandEinrichtungenSchools TUM School of Computation, Information and TechnologyPrüfungsarbeitenDissertationen