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Original title:
Design of a fully CMOS compatible Mechanical Stress Sensor
Translated title:
Entwurf eines vollständig CMOS-kompatiblen mechanischen Spannungssensors
Author:
Nurmetov, Umidjon
Year:
2021
Document type:
Dissertation
Faculty/School:
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Advisor:
Brederlow, Ralf (Prof. Dr.)
Referee:
Brederlow, Ralf (Prof. Dr.)Thewes, Roland (Prof. Dr.)
Language:
en
Subject group:
ELT Elektrotechnik
Keywords:
calibration, CMOS integrated circuits, integrated circuit design, low-power electronics, sensors, stress measurement
TUM classification:
ELT 400d
Abstract:
This thesis summarizes research and development results of the cooperative project between Technical University of Munich and Texas Instruments Freising on the next generation sensors systems for evaluation of mechanical stress within integrated circuits (ICs) and beyond.
Translated abstract:
Diese Arbeit fasst die Forschungs- und Entwicklungsergebnisse des Kooperationsprojekts zwischen der Technischen Universität München und Texas Instruments Freising über die Sensorsysteme der nächsten Generation zur Bewertung mechanischer Beanspruchungen innerhalb von integrierten Schaltungen und darüber hinaus zusammen.
WWW:
https://mediatum.ub.tum.de/?id=1546835
Date of submission:
26.06.2020
Oral examination:
18.03.2021
File size:
15589894 bytes
Pages:
114
Urn (citeable URL):
https://nbn-resolving.de/urn/resolver.pl?urn:nbn:de:bvb:91-diss-20210318-1546835-1-9
Last change:
03.05.2021
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