Benutzer: Gast  Login
Dokumenttyp:
Konferenzbeitrag 
Autor(en):
Meier, S.; Rinck, H.; Lange, B.; Muellner, E.; Brederlow, R.; Enzelberger-Heim, M.; Summerfelt, S.; Kreupl, F.; Wolf, B. 
Titel:
Patterning Platinum by Selective Wet Etching of Sacrificial Pt-A1 Alloy 
Kongress- / Buchtitel:
2020 4th IEEE Electron Devices Technology & Manufacturing Conference (EDTM) 
Verlag / Institution:
IEEE 
Publikationsdatum:
01.04.2020 
Jahr:
2020 
Print-ISBN:
9781728125398