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Originaltitel:
Nanotransfer Printing and Kinetic Monte Carlo Simulations of Metal-Oxide-Structures 
Übersetzter Titel:
Nanotransfer Printing und kinetische Monte Carlo Simulationen von Metal-Oxid-Strukturen 
Jahr:
2016 
Dokumenttyp:
Dissertation 
Institution:
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik 
Betreuer:
Lugli, Paolo (Prof., Ph.D.) 
Gutachter:
Lugli, Paolo (Prof., Ph.D.); Holleitner, Alexander (Prof. Dr.) 
Sprache:
en 
Fachgebiet:
ELT Elektrotechnik; TEC Technik, Ingenieurwissenschaften (allgemein) 
Stichworte:
nanotransfer printing, kinetic Monte Carlo, metal-oxide, plasma oxidation, titanium dioxide, aluminum dioxide, MOM, MOS 
Übersetzte Stichworte:
Nanotransfer Printing, Lithographie, kinetic Monte Carlo, Metall-Oxid, Plasmaoxidation, Titandioxid, Aluminiumoxid, MOM, MOS 
TU-Systematik:
TEC 030d 
Kurzfassung:
In this work nanotransfer printing (nTP) was combined with plasma oxidation of Ti to an efficient fabrication process for ordered nano- and microscale metal- and metal-oxide-structures on doped silicon. Furthermore, kinetic Monte Carlo (kMC) simulations of ultrathin metal-oxide-layers were performed to analyse the electronic properties of TiO2 and AlOx for applications in MOS and MOM nanodevices. Finally, dominant charge transport processes and defect energies in dependence of the fabrication of...    »
 
Übersetzte Kurzfassung:
Nanotransfer Printing (nTP) wurde mit einem zusätzlichen Plasmaoxidationsprozess auf Titan zu einem effizienten Herstellungsverfahren für hochgeordnete nano- and microscale Metall- und Metall-Oxid-Strukturen auf dotiertem Silizium weiterentwickelt. Ferner wurden mittels kinetischer Monte Carlo (kMC) Simulationen die elektronischen Eigenschaften von Titandioxid und Aluminiumoxid hinsichtlich ihrer Anwendung in nanoskaligen MOS und MOM Bauelementen untersucht. Dominante Ladungstransportprozesse un...    »
 
Mündliche Prüfung:
12.12.2016 
Letzte Änderung:
22.03.2017