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Document type:
Buch 
Author(s):
Reutter, T. 
Editor:
Wachutka, G. u. Schmitt-Landsiedel, D. 
Title:
Charakterisierung und Optimierung piezoelektrischer MEMS-Mikrophone mittels physikalischer Modellierung und Simulation 
Volume:
Vol. 47 
Bookseries title:
Ausgewählte Probleme der Elektronik und Mikromechatronik 
Publisher:
Shaker Verlag 
Publisher address:
Aachen, Germany 
Pages:
132 
Year:
2015 
Print-ISBN:
978-3-8440-3490-5 
Language:
de 
Format:
Text