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Autor(en):
Coccetti, Fabio; Vietzorreck, Larissa; Chtchekatourov, Vitali; Russer, Peter 
Titel:
A numerical study of MEMS capacitive switches 
Kongress- / Buchtitel:
16th Annual Review of Progress in Applied Computational Electromagnetics (ACES) 
Verlagsort:
Monterey, CA, USA 
Jahr:
2000 
Monat:
mar 
Seiten:
580--586