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Dokumenttyp:
Konferenzbeitrag 
Autor(en):
Iannacci, J.; Sordo, G.; Gotthardi, M.; Künzig, T.; Schrag, G., Wachutka, G. 
Titel:
An Energy Harvester Concept for Electrostatic Conversion Manufactured in MEMS Surface Micromachining Technology 
Kongress- / Buchtitel:
Proceedings of the International Semiconductor Conference Dresden-Grenoble 
Kongress / Zusatzinformationen:
ISCDG 2013, September 26-27, Dresden Germany 
Jahr:
2013 
Sprache:
en