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Dokumenttyp:
Konferenzbeitrag 
Art des Konferenzbeitrags:
Textbeitrag / Aufsatz 
Autor(en):
Niessner, M.; Schrag, G.; Iannacci, J.; Wachutka, G. 
Titel:
Squeeze-Film Damping in Perforated Microstructures: Modeling, Simulation and Pressure-Dependent Experimental Validation 
Seitenangaben Beitrag:
pp. 598-601 
Kongress- / Buchtitel:
Proceedings of the Nanotech - NSTI 2012- Vol. 2 
Kongress / Zusatzinformationen:
June 18-21, Santa Clara, CA, USA 
Verlagsort:
New York 
Jahr:
2012 
Reviewed:
ja 
Sprache:
en