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Dokumenttyp:
Konferenzbeitrag 
Art des Konferenzbeitrags:
Vortrag / Präsentation 
Autor(en):
Künzig, T.; Iannacci, J.; Schrag, G.; Wachutka, G. 
Titel:
Study of an active thermal recovery mechanism for an electrostatically actuated RF-MEMS switch 
Kongress- / Buchtitel:
Proceedings of the 13th International Conference on Thermal, Mechanical and Multi-Physics Simulation and Experiments in Microelectronics and Microsystems 
Kongress / Zusatzinformationen:
EuroSime 2012, April, 16-18, Cascais, Portugal 
Verlag / Institution:
IEEE 
Jahr:
2012 
Reviewed:
ja 
Sprache:
en 
Erscheinungsform:
CD-ROM / DVD