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Titel:

Depth-sensitive thin film reflectometer

Dokumenttyp:
Zeitschriftenaufsatz
Autor(en):
Hirth, F.; Buck, T.C.; Pérez Grassi, A.; Koch, A.W.
Zeitschriftentitel:
IOP Measurement Science and Technology, Vol. 21, 125301
Jahr:
2010
Reviewed:
ja
Sprache:
en
Semester:
WS 10-11
Format:
Text
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