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- Title:
Aufbau zur flächigen reflektrometrischen Schichtdickenbestimmung von lateral bewegten Schichtsystemen
- Document type:
- Zeitschriftenaufsatz
- Author(s):
- Tremmel, A.J.; Rauscher, M.S.; Murr, P.J.; Schardt, M.; Koch, A.W.
- Journal title:
- tm - Technisches Messen
- Year:
- 2016
- Journal volume:
- Band 83
- Year / month:
- 2016-09
- Quarter:
- 3. Quartal
- Month:
- Sep
- Journal issue:
- Heft 9
- Pages contribution:
- S. 494–502
- Reviewed:
- ja
- Language:
- de
- Fulltext / DOI:
- doi:10.1515/teme-2015-0105
- WWW:
- https://www.degruyter.com/view/j/teme.2016.83.issue-9/teme-2015-0105/teme-2015-0105.xml
- Print-ISSN:
- ISSN (Print) 0171-8096
- E-ISSN:
- ISSN (Online) 2196-7113
- Status:
- Verlagsversion / published
- Date of publication:
- 13.09.2016
- Semester:
- SS 16
- TUM Institution:
- Lehrstuhl für Messsystem- und Sensortechnik
- Ingested:
- 24.01.2017
- Last change:
- 09.02.2017
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