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Technische Universität München
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Title:
Schichtmessverfahren und Messvorrichtung
Patent application number:
DE 10 2010 016 462.3
Inventor:
Hirth, F.; Buck, T.C.
Assignee:
Hirth, F.; Buck, T.C.
Year:
2010
Format:
Text
BibTeX
Occurrences:
mediaTUM Gesamtbestand
Hochschulbibliographie
2010
Fakultäten
Elektrotechnik und Informationstechnik
Lehrstuhl für Messsystem- und Sensortechnik (Prof. Koch)
mediaTUM Gesamtbestand
Einrichtungen
Schools
TUM School of Computation, Information and Technology
Departments
Electrical Engineering
Messsystem- und Sensortechnik (Prof. Koch)
Publikationen 2010