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- Dokumenttyp:
- Konferenzbeitrag
- Autor(en):
- Hirth, F.; Buck, T.C.; Steinhausen, N.; Koch, A.W.
- Titel:
- Performance of a combined chromatic confocal microscope with thin film reflectometer
- Kongress- / Buchtitel:
- SPIE Proceedings Vol. 7729
- Jahr:
- 2010
- Reviewed:
- ja
- Sprache:
- en
- Semester:
- SS 10
- Format:
- Text
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