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Originaltitel:
Spatio-temporal pattern formation during the anodic electrodissolution of silicon in ammonium fluoride solution 
Übersetzter Titel:
Raumzeitliche Musterbildung bei der anodischen Elektrooxidation von Silizium in Ammoniumfluoridlösung 
Jahr:
2010 
Dokumenttyp:
Dissertation 
Institution:
Fakultät für Physik 
Betreuer:
Krischer, Katharina (Prof. Dr.) 
Gutachter:
Brandt, Martin S. (Prof. Dr.) 
Sprache:
en 
Fachgebiet:
PHY Physik 
Stichworte:
Nonlinear Dynamics, Pattern Formation, Semiconductor Electrochemistry, Silicon, Oscillations 
Übersetzte Stichworte:
Nichtlineare Dynamik, Musterbildung, Halbleiterelektrochemie, Silizium, Oszillationen 
Kurzfassung:
The positively polarized silicon|oxide|electrolyte interface of n-type and p-type silicon was investigated in the oscillatory domain. An ellipsometric microscope was built that allowed the oxide layer thickness during the electrodissolution in fluoride containing electrolyte to be imaged in situ. The analysis of the spatially averaged system revealed that the oscillations emerge in a Hopf bifurcation, which in combination with the dependency of the etch rate on the electrical field formed the ba...    »
 
Übersetzte Kurzfassung:
Die positiv-polarisierte Silizium|Oxid|Elektrolyt-Grenzfläche von n-dotiertem und p-dotiertem Silizium wurde im oszillierenden Parameterbereich untersucht. Um die Oxidschichtdickendynamik bei anodischer Elektrooxidation in flusssäurehaltiger Elektrolytlösung in-situ abbilden können, wurde ein ellipsometrisches Mikroskop aufgebaut. Die Analyse des räumlich gemittelten Systems zeigte die Entstehung von Oszillationen aus einer Hopf-Bifurkation, die zusammen mit der Abhängigkeit der Ätzrate vom elek...    »
 
Mündliche Prüfung:
23.04.2010 
Seiten:
142 
Letzte Änderung:
21.05.2010