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Autor(en):
Abd Allah, Mohamed; Kaitila, Jyrki; Thalhammer, Robert; Weber, Werner; Schmitt-Landsiedel, Doris 
Titel:
Temperature Compensated Solidly Mounted BAW Resonators with Thin SiO2 Layers 
Kongress- / Buchtitel:
2009 IEEE International Ultrasonics Symposium 
Jahr:
2009