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Autor(en):
VEPREK, S; VEPREKHEIJMAN, MGJ 
Titel:
POSSIBLE CONTRIBUTION OF SIH2 AND SIH3 IN THE PLASMA-INDUCED DEPOSITION OF AMORPHOUS-SILICON FROM SILANE 
Zeitschriftentitel:
APPLIED PHYSICS LETTERS 
Jahr:
1990 
Band / Volume:
56 
Heft / Issue:
18 
Seitenangaben Beitrag:
1766-1768