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Autor(en):
VEPREK, S; KONUMA, M; SAROTT, FA; al., et 
Titel:
NC-SI AND A-SI - KINETICS AND MECHANISM OF THE DEPOSITION AND THE CONTROL OF THE MATERIAL PROPERTIES - A REVIEW OF RECENT RESULTS 
Zeitschriftentitel:
HELVETICA PHYSICA ACTA 
Jahr:
1987 
Band / Volume:
60 
Heft / Issue:
Seitenangaben Beitrag:
185-185