Login
- Autor(en):
- IQBAL, Z; CAPEZZUTO, P; BRAUN, M; al., et
- Titel:
- STRUCTURAL AND SOME OTHER PROPERTIES OF SILICON DEPOSITED IN AN SICL4-H2 RF DISCHARGE
- Zeitschriftentitel:
- THIN SOLID FILMS
- Jahr:
- 1982
- Band / Volume:
- 87
- Heft / Issue:
- 1
- Seitenangaben Beitrag:
- 43-51
BibTeX