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- Autor(en):
- HOFMANN, J; VEPREK, S
- Titel:
- Ultra thin 3C-SiC pseudomorphic films on Si (100) prepared by organometallic CVD with methyltrichlorosilane
- Zeitschriftentitel:
- THIN SOLID FILMS
- Jahr:
- 1998
- Band / Volume:
- 318
- Heft / Issue:
- 1-2
- Seitenangaben Beitrag:
- 18-21
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