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- Dokumenttyp:
- Konferenzbeitrag
- Autor(en):
- Chryssikos, Domenikos; Heigl, Martin; Kounoupioti, Evanthia; Neumeier, Karl; Wieland, Robert; Tornow, Marc /
- Titel:
- Scalable fabrication of metallic nanogaps using CMOS-based 10 nm spacer lithography
- Kongress- / Buchtitel:
- 2022 IEEE 22nd International Conference on Nanotechnology (NANO)
- Verlag / Institution:
- IEEE
- Publikationsdatum:
- 04.07.2022
- Jahr:
- 2022
- Volltext / DOI:
- doi:10.1109/nano54668.2022.9928620
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