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Dokumenttyp:
Konferenzbeitrag 
Autor(en):
Anzinger S., Manz J., Dehe A., Schrag G 
Titel:
A Comb-Based Capacitive MEMS Microphone with High Signal-to-Noise Ratio: Modeling and Noise-Level-Analysis 
Kongress- / Buchtitel:
Proceedings of the Eurosensors 2017/Multidisciplinary Publishing Institute Proceedings, Vol. 1, 2017 
Kongress / Zusatzinformationen:
Paris, France 
Band / Teilband / Volume:
Vol. 1 
Datum der Konferenz:
3–6 September 2017 
Jahr:
2017 
Jahr / Monat:
2017-09 
Monat:
Sep 
Seiten:
pp. 346 
Sprache:
en 
TUM Einrichtung:
Lehrstuhl für Technische Elekrophysik 
Eingabe:
29.12.2017