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Autor(en):
Ivashchenko, V. I.; VEPREK, S. 
Titel:
First-principles molecular dynamics study of the thermal stability of the BN, AlN, SiC and SiN interfacial layers in TiN-based heterostructures: Comparison with experiments 
Zeitschriftentitel:
THIN SOLID FILMS 
Jahr:
2013 
Band / Volume:
545 
Seitenangaben Beitrag:
391--400