Neubau für Elektrotechnik und Informationstechnik am TUM Campus Garching / New building of electrical engineering and information technology at TUM Campus Garching 2022
Beschreibung (Caption):
Neubau EI; Eine Chemisch-technische Assistenten im Reinraumlabor spült die Silizium Wafer nach dem Reinigungsprozesse RCA1 cleaning/RCA2 cleaning mit DI-Wasser (Deionisiertes Wasser), um die Chemikalien des Reinigungsprozesses vom Siliziumwafer zu entfernen.
Foto: Andreas Heddergott /TUM; Verwendung frei für die Berichterstattung über die TUM bei Nennung des Copyrights /
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Stichwörter (Keywords):
Fakultaet fuer Elektrotechnik und Informationstechnik; TUM Department of Electrical and Computer Engineering; Neubau; New building; Campus Garching; Clean room; Reinraum; silicon wafer
Wissenschaftsgebiet (Research Area):
Ingenieurwissenschaften
Fakultät / Einrichtung der TUM (University department or unit):
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik ; Department of Electrical and Computer Engineering; TUM School of Computation, Information and Technology
Stadt/Ort (Location):
Garching, Bayern, Deutschland / Garching, Bavaria, Germany
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