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Original title:
Metal transfer printing as an enabling technology for device fabrication 
Translated title:
Metal-Transferdruck-Verfahren zur Herstellung elektrischer Kontakte 
Year:
2018 
Document type:
Dissertation 
Institution:
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik 
Advisor:
Lugli, Paolo (Prof. Dr.) 
Referee:
Lugli, Paolo (Prof. Dr.); Tornow, Marc (Prof. Dr.) 
Language:
en 
Subject group:
ELT Elektrotechnik 
TUM classification:
TEC 030d 
Abstract:
In this thesis we present a novel fabrication scheme to define micro- and nanoscale metal electrodes in a purely additive printing process, where the metal film is transferred from the protruding regions of a stamp onto a receiving substrate. The presented process is based on a novel polymeric stamp material that enables excellent pattern replication with critical feature sizes from several micrometers down to sub-100 nanometers over large areas and with complex geometries. 
Translated abstract:
Diese Arbeit widmet sich der Entwicklung eines Verfahrens zur Schaffung von Metallkontakten sowohl für mikro- als auch nanoelektronische Anwendungen. Hierbei wird die Metallschicht von einem vorstrukturierten Stempel auf das Zielsubstrat additiv transferiert. Durch die Nutzung eines polymerbasierten Stempel-Materials, wird die zuverlässige Herstellung einer Vielzahl von Strukturen in Größenordnungen von mehreren Mikrometern bis hinunter zu weniger als 100 Nanometer ermöglicht. 
Oral examination:
02.07.2018 
File size:
115116071 bytes 
Pages:
136 
Last change:
11.09.2018