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- Autor(en):
- Zähringer, S.; Purr, J.; Schwesinger, N.
- Titel:
- Manipulation of IDT-actuated piezoelectric membrane Actuators by Silicon Clamping
- Zeitschriftentitel:
- Applied Mechanics and Materials
- Jahr:
- 2014
- Band / Volume:
- 518
- Seitenangaben Beitrag:
- 215-219
- Reviewed:
- ja
- Sprache:
- en
- Volltext / DOI:
- doi:10.4028/www.scientific.net/AMM.518.215
- Verlag / Institution:
- Trans Tech Publications
- Verlagsort:
- Switzerland
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